Электромеханические микроустройства
Мухуров Н.И., Ефремов Г.И.
Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения планарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.
년:
2012
출판사:
Издательский дом "Белорусская наука"
언어:
russian
페이지:
257
ISBN 10:
9850814195
ISBN 13:
9789850814197
파일:
PDF, 14.27 MB
IPFS:
,
russian, 2012